第67話・準備中
EUV露光
世界に1社しか作れない機械
スズの粒を撃ち、鏡で運び、真空の中で線を描く。最先端のチップを作る装置。
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この動画で話すこと
最先端の半導体工場がどうしても欲しい機械があります。作れるのは世界に1社、オランダのASML。細い線を描くには波長の短い光が要り、行きついた先が波長13.5ナノメートルのEUVでした。空気にもガラスにも吸われる光を、真空の中、鏡だけで運ぶ。スズの粒を1秒に5万個落として、レーザーで撃つ。実用まで20年以上かかった仕組み、日本の会社の持ち場、弱点と輸出の規制までを5分で。
出典・参考
- ASML の公表資料（2025年通期）
- レーザーテックの発表（2019年）
- キヤノンの発表（2023年）